Lyra III FEG

Cararacteristicas especificas de FE-SEM

Emisor Schottky de alto brillo para la proyeccion de imagenes de Alta resolución / Gran intensidad / Poco ruido.

Un diseño unico de tres lentes Wide Field Optics™ que ofrece la variedad de modos de trabajo y de exhibición que incorporan la lente intermedia propietaria de Tescan para la optimización de la apertura del haz

In-Flight Beam Tracing™ en tiempo real para el funcionamiento y la optimización del spot que integran el software establecido Electron Optical Design

Tasa rápida de refresco de imágen, utilizando los detectores de primera clase YAG

Caracteristicas Especificas de FIB

Columna unica de iones con bombeo diferencial, con 2 bombas de iones para obtener un efecto de ultra-baja dispersión de iones.
Cambiador motorizado de la apertura con ultra-alta reproductibilidad.
Beam Blanker y Faraday cup incluidos como estandarincluded as a standard.
Proyeccion de imagen SEM Simultanea con el grabado o la deposición FIB.
El control del modo FIB esta completamente integrado en el software.
Aplicacion de grandes prestaciones para la creacion de formas basicas y con programación de parametros.

Características de la opción GIS

Configuración geometrica ideal entre las columnas SEM y FIB.
5 depositos independientes de gas.
Microplatina de 3 ejes con la colocación automatica de los inyectores.
Control automático de temperatura.

Especificaciones de LYRA III FIB-SEM:

Columna SEM
Cañon de Electrones	Emisor Schottky de alto brillo
Resolución (SE)	1.2 nm a 30 kV
Voltaje de aceleración	200 V a 30 kV
Magnificaciones	3x - 1,000,000x
Sonda de Corriente	2pA a 100nA

Columna FIB
Cañon de Iones	Fuente de iones de Ga liquido
Resolución (SE)	< 5 nm a 30 kV
Vacio de la columna	< 5 × 10^-6 Pa
Magnificaciones	150x to 1,000,000x
Voltaje de aceleración	1 kV a 5 kV, 10kV a 30 kV
Sonda de corriente	1 pA a 40 nA

Camara
Dimensiones internas	300 mm (ancho) x 300 mm (profundidad)
Tamaño de la puerta	280 mm (ancho) x 310 mm (profundidad)
Numero de puertos	9⁺
Tipo de suspension	Aislamiento activo de vibraciones.

Platina
Tipo	5-ejes completamente motorizados, compucentricos
Movimientos	X = 130 mm Y = 130 mm Z = 100 mm Rotación.: 360° continua Inclinación: -20° a +80°
Altura máxima de la muestra	137 mm